· 接触式光刻（MA6/BA6）

最小线宽：1μm，套刻精度：±0.5μm

· 步进式光刻（Stepper i7/i10/i12）

最小线宽：0.35μm 套刻精度≤0.15μm，2inch、4inch及6inch晶圆

· 电子束光刻

最小线宽：10nm，套刻精度：40nm 曝光范围<直径75mm，

样品大小：15mm*15mm、20mm*20mm、2inch、3inch、4inch。 光刻胶种类：PMMA A2、PMMA A4、PMMA A8

· 背面套刻（MA6/BA6）

最小线宽：1μm，正面套刻精度：±0.5μm 背面套刻精度：±2μm