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叉指电极

包括叉指电极和三电极共面集成叉指电极,其作用是将化学和生物敏感物质浓度转化为电信号进行检测和识别。

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压阻式压力芯片

包括不同量程的压力芯片,包括绝压芯片和表压芯片,主要应用于血压计、高度计和气压计等。


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微针

包括硅基微针和可溶性微针模具,常用在美容仪、微针贴剂和给药等领域。


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微热板芯片

包括正面开腔悬臂梁式、背面开腔悬膜式和旁热式,主要用作MEMS气体传感器的加热芯片。


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