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红外光源
提供不同尺寸、不同规格的MEMS红外光源定制芯片。红外光源工艺流程如下:
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超声波传感器
提供MEMS超声波传感器定制芯片。超声波传感器工艺流程如下:
叉指电极
提供各类MEMS生物医疗器件定制芯片,包括叉指电极、三电极共面电极。
硅针/柔性针
硅针/柔性针主要用在神经元检测、葡萄糖检测等。针长可达到15mm。
微热板气体传感器
提供不同尺寸、不同加热电极、不同加热温度的MEMS微热板气体传感器定制芯片。微热板工艺流程如下:
FBAR滤波器
提供FBAR滤波器定制芯片。FBAR滤波器工艺流程如下:
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压力传感器
提供扩散硅压阻式力传感器、多晶硅压阻式压力传感器、SOI( Silicon on Insulator
通孔微结构
提供不同开口孔径和不同厚度的硅基通孔定制芯片,用于病毒细胞和蛋白质筛选。
基因转录组芯片
玻璃基全面的亚细胞级转录组芯片,为疾病的诊断治疗及药物研发提供更有力的决策依据。