“微机电系统（MEMS），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。”，这是百度给出的概念，那么我们如何去理解MEMS，它到底是什么，是机械加工还是系统？

事实上，MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的英文缩写，其是由微加工技术实现的，包括微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路等组成部分，能够实现测量、处理或执行等功能的尺度为微米至毫米的微型集成器件或系统，称为微电子系统，或微系统。如图1所示，MEMS可以通过微传感器感知外界环境，例如光、声、电、机械、温度、生物、化学等，再通过处理器对环境信号进行处理和决断，然后通过微执行器对外界环境做出反应，将信号转化为机械能、电能、显示等等，所以可以看出，MEMS实际上是基于多基本器件的多功能系统。

图1.MEMS 示意图

  目前硅基器件的加工方式可以分为两类，一是集成电路（integrated circuit）的制造技术，例如光刻、沉积、注入、刻蚀等等，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起（图2左），制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，另外一个是微加工技术，例如干法/湿法深刻蚀、表面/体微加工，把梁/板/柱、通道孔洞（图2右）等微结构加工出来制备微传感器、微执行器制备起来再与集成电路结合起来，制备出具有测量、处理、执行功能的MEMS器件，可以说，MEMS结合了集成电路和微加工技术，是多学科融合的智能化系统。

图2.集成电路面板（左）和微传感器微观结构（右）

目前，MEMS已被广泛的应用于我们生活中的各个领域，如图3所示，常见的MEMS有加速度传感器（汽车电子）、声音传感器（麦克风）、气体传感器（环境监测），其中，汽车电子是最早推动MEMS领域发展的一个应用方向，安装在安全带上的加速度传感器可以在汽车发生碰撞时，产生电信号传递给安全气囊执行器，最后气囊精准弹出而保护车上乘客；又例如我们现在使用的智能手机，其上面安装了几十个传感器，其中，压力传感器应用于心率监控，MEMS开关应用于只能锁屏，加速度传感器应用于动作和相机防抖，化学传感器应用于环境、气温监测，等等。纵观硅基器件的发展历史，90年代的计算时代（PC+互联网）、00年的通信时代（手机+移动互联）、10年的感知时代（传感器-物联网），未来器件将向着智能时代发展，从而实现万联网-大数据-云计算-智慧地球，而MEMS必定会成为万物互联的基础。

图3.MEMS的类型及应用

芯云纳米技术（苏州）有限公司一直致力于为国内多家高校和设计公司提供微纳加工服务，开发新型的MEMS传感器，实现多款传感器关键工艺验证、中试和量产导入。公司拥有硅槽深刻、离子注入和阳极键合等关键工艺的技术积累和设备资源，保障稳定可靠的产量和产能，有效降低工艺验证成本，立志于打造国内最佳研发、工艺整合服务平台，为客户产品保驾护航。